Klitzekleines von grosser Bedeutung: Junge Forscherinnen entdecken die Mikrotechnik | W&O

Buchs 20.03.2025

Klitzekleines von grosser Bedeutung: Junge Forscherinnen entdecken die Mikrotechnik

Kantischülerinnen lernten den Reinraum am Campus Buchs der Fachhochschule Ost kennen.

Von PD
aktualisiert am 20.03.2025
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Technischer Fortschritt passiert heute oft in kleinsten Teilchen: Im Reinraum am Campus Buchs der OST – Ostschweizer Fachhochschule konnten Kantischülerinnen in die Welt der Mikrotechnik eintauchen und einen eigenen Wafer herstellen. Wie die Fachhochschule in einer Mitteilung schreibt, fand der Workshop in Zusammenarbeit mit dem Förderprogramm Swiss TecLadies der Schweize­rischen Akademie für Technische Wissenschaften SATW statt.

Bedeutsames ist heute oft klitzeklein

Ohne Elektronikbauteilchen wie Mikrochips läuft heute nichts mehr. Sie treiben die Digitali­sierung an und sind in Smartphones, Autos und Robotern verbaut. Obwohl wir alle sie nutzen, wissen nur die wenigsten, was hinter der Technologie steckt. Drei Kantischülerinnen sind den Fertigungsprozessen für den Aufbau von Mikrochips am Campus Buchs der Fachhochschule auf den Grund gegangen.

Im Rahmen des Mentoring-­Programms Swiss TecLadies waren sie im Reinraum und haben unter Anleitung von Experten, einer jungen Physiklaborantin und einem Lernenden selbst die Oberfläche eines Siliziumwafers strukturiert. Ein Wafer ist eine dünne Scheibe aus Halbleitermaterial, die als Basis für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen und Mikrochips dient.

In der Welt der Wafer: Die Kantischülerinnen musste behutsam vorgehen.
In der Welt der Wafer: Die Kantischülerinnen musste behutsam vorgehen.
PD

Im Reinraum forscht und entwickelt die OST an der stetigen Miniaturisierung, die Regler, Sensoren und Schaltkreise immer kleiner, effizienter und leistungsstärker macht. So klein, dass selbst Staubpartikel die Funktionsweise dieser Mikrostrukturen beeinträchtigen können. Die Räume, in denen solche Teile hergestellt und verarbeitet werden, sind deshalb besonders sauber; die Luft wird gefiltert, die Temperatur, Feuchtigkeit und der Luftdruck streng kontrolliert.

Der erste Schritt in die Welt der Mikrotechnik führte die Schülerinnen in den Umkleidebereich, in dem synthetische Einteiler, Masken, Hauben und Brillen verteilt werden. Erst mit dieser Schutzkleidung konnten sie in den Reinraum, um an der Arbeit an ihrer flachen Siliziumscheibe, die in wenigen Stunden zu einem persönlich beschrifteten Wafer wurde, zu starten.

Den Workshop an der OST hat Kerstin Kern, Projektleiterin und Fachverantwortliche Werkstoffprüfung am IMP Institut für Mikrotechnik und Photonik, organisiert. Sie ist zum dritten Mal Mentorin bei den Swiss TecLadies und begleitet eine Mentee in die Welt der Technik.

Jungen Frauen die Vielfalt der Technik zeigen

«Das Ziel ist es, junge Frauen für technische Berufe zu begeistern und ihnen die Vielfalt der Technik zu zeigen», sagt Kern. Viel zu häufig hätten Mädchen auch heute noch ein sehr einseitiges Bild von Technik im Kopf:

Meiner Erfahrung nach können Berührungsängste bei Workshops wie im Reinraum am besten abgebaut werden.

Zudem sei für die Schülerinnen der persönliche Kontakt zu Forscherinnen inspirierend. Die Mentorinnen betreuen dabei die jungen Frauen 1:1 und sind für sieben Monate ihre direkte Ansprechperson. Wie das Mentoring konkret aussieht, hängt von den Interessen der Mentees ab.

Die einzelnen Schritte des Prozesses wurden von den Fachpersonen exakt genauestens erklärt.
Die einzelnen Schritte des Prozesses wurden von den Fachpersonen exakt genauestens erklärt.
PD

Hauchdünne Schichten strukturieren

Kerstin Kern hat die Mädchen in den Reinraum begleitet. Gemeinsam mit Marco Cucinelli, dem Leiter des Reinraums, und Urs Lippuner, Berufsbildner an der OST, hat die Gruppe die ­verschiedenen Prozessschritte, die für die Strukturierung der Wafer-Oberfläche nötig sind, durchlaufen. Es wurden dünnste Schichten mit Dimensionen im Nanometerbereich aufgetragen.

An den richtigen Stellen wurden diese durch Fotolithografie und Ätzprozesse strukturiert. Die jungen Frauen haben den Aufdampf- und Sputter­prozess kennengelernt, der die hauchdünne Aluminiumschicht auf die Siliziumscheibe aufträgt, haben ihre Wafer belichtet, in Säuren gebadet, gereinigt und mehrmals getrocknet.

Einen Nachmittag lang haben sie erlebt, wie Ingenieurinnen und Ingenieure an der OST kleinste Teile für die Industrie herstellen und konnten selbst an den Hightechgeräten arbeiten.